粗糙度轮廓一体机

  

  

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产品特点 :

l  高速移动和定位

l  130mm/260mm长测量行程以及大测头测量范围

l  创新测针系统以及仿生学测臂设计

l  磁性的测臂夹持装置和测臂识别装置

l  粗糙度和轮廓度二合一

l  基于友好服务理念的模块化设计

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技术参数:

水平轴的特征:

Ø  行程长度(Lt)0. mm to 260 mm

Ø  定位速度:0.02 mm/s  200 mm/s

Ø  测量速度:0.02 mm/s  10 mm/s; 粗糙度测量 推荐速度0.1 mm/s0.5 mm/s

Ø  X方向取样间距:0.05 μm30 μm,可调整

Ø  每次测量最多测量点:5200000

Ø  分辨率:0.8 nm

Ø  X轴测量的不确定度:± (0.2+l/1000) μm; l 单位 mm

测头系统特征:

Ø  测头测量范围:26 mm (200 mm测臂)

Ø  分辨率:0.8mm

Ø  测量力:0.5 mN to 30 mN, 可通过软件设置

残余误差 Rz0, Rq0

Ø  vt = 0.1 mm / s时的残余误差:Rz0 20 nm  Rq0 1 nm, typical

轮廓:

Ø  距离测量显示误差:± (1.0+l / 150) µm; l 单位 mm

Ø  半径测量显示误差:(R  10 mm) ± 1 µm (10 mm < R  300 mm) ± 0.17 + (R/ 12) µm (R > 300 mm) ± (-18 + R / 7) µm                                                     

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时间:2020/8/25 9:49:49
来源:http://www.hzhkinstrument.com/