清洁度分析系统（金相镜）

颗粒分析

Ø 金属颗粒：通常是最关注的，并且是最关键的颗粒.

Ø 非金属颗粒，不含纤维：这些颗粒和金属颗粒一样是关键性污染物颗粒。

Ø 纤维：这些颗粒在测试的准备和操作过程中是无法避免的。因此，即使有时候纤维是滤膜上最大的颗粒，其关注度也是相对不高。  

Ø 将颗粒预分为三类,可减少手动操作的工作量,并且最大限度的关注所有与实际操作相关的颗粒。

Ø 通过偏振镜机构对滤膜进行二次扫描，并实现对滤膜上金属和非金属颗粒   的统计和鉴别针对塑料、玻纤等同样会产生反射的物体，

Ø 系统会自动将其与金属颗粒区分开，此方法有效的回避了被误判为金属颗粒的风险。

Ø 对于尼龙网格编织膜的扫描数据表现同于其他表面滤膜的扫描数据，结果不受网格影响。

Ø 检测颗粒≥5um